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簡(jiǎn)要描述：【無(wú)錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家，公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀（熱流儀）、chiller、超低溫制冷機(jī)、高低溫測(cè)試機(jī)機(jī)、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測(cè)、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測(cè)試提供整套溫度環(huán)境解決方案。半導(dǎo)體冷水機(jī)丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案
產(chǎn)品型號(hào)：FLTZ-203W-2T廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-03-20訪 問(wèn) 量：605| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-50萬(wàn) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 儀器種類(lèi) | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車(chē)及零部件,電氣 |
半導(dǎo)體冷水機(jī)丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案
半導(dǎo)體冷水機(jī)丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案
在半導(dǎo)體制造工藝中，等離子刻蝕冷卻Chiller作為關(guān)鍵溫控設(shè)備，通過(guò)制冷技術(shù)和智能控制系統(tǒng)，為工藝穩(wěn)定性提供保障。
一、等離子刻蝕工藝的溫控挑戰(zhàn)
等離子刻蝕過(guò)程中，反應(yīng)腔室內(nèi)的高頻電場(chǎng)將氣體電離為等離子體，這些高能粒子轟擊硅片表面完成刻蝕。然而，等離子體釋放的巨大熱量會(huì)使腔室溫度急劇上升。若溫度失控，可能引發(fā)以下問(wèn)題。
1、刻蝕速率波動(dòng)：溫度變化影響化學(xué)反應(yīng)速率，導(dǎo)致刻蝕深淺不一致；
2、材料熱應(yīng)力損傷：局部過(guò)熱可能使硅片或掩膜層產(chǎn)生裂紋；
3、副產(chǎn)物沉積：高溫加速反應(yīng)副產(chǎn)物在腔室壁的附著，降低工藝穩(wěn)定性。
因此，等離子刻蝕冷卻Chiller需在短時(shí)間內(nèi)將腔室溫度控制在很小的精度內(nèi)，同時(shí)適應(yīng)-100℃至150℃的寬溫域需求。
二、Chiller的核心工作原理
等離子刻蝕冷卻Chiller通過(guò)閉環(huán)制冷系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)溫控，其核心流程包括，
1、制冷劑循環(huán)
壓縮機(jī)將氣態(tài)制冷劑壓縮為高溫高壓氣體；氣體經(jīng)風(fēng)冷或水冷式冷凝器液化，釋放熱量；電子膨脹閥調(diào)節(jié)液態(tài)制冷劑壓力，使其低溫蒸發(fā)；制冷劑在蒸發(fā)器中吸收反應(yīng)腔室的熱量，完成降溫。
2、全密閉循環(huán)設(shè)計(jì)
系統(tǒng)采用不銹鋼SUS304管路和E密封材料，杜絕水分和雜質(zhì)侵入，確保導(dǎo)熱介質(zhì)純凈度。
3、雙變頻技術(shù)
循環(huán)泵和壓縮機(jī)均采用變頻調(diào)節(jié)，根據(jù)實(shí)時(shí)負(fù)載自動(dòng)調(diào)整功率，在保證制冷效率。
三、技術(shù)特點(diǎn)與創(chuàng)新優(yōu)勢(shì)
1、精度控溫
采用PID算法和PLC控制器，實(shí)現(xiàn)控溫精度；支持多段溫度曲線編程，適應(yīng)刻蝕工藝的復(fù)雜溫控需求（如快速升降溫）。
2、寬溫域與制冷
低溫復(fù)疊制冷系列支持寬溫域，滿足深紫外刻蝕的低溫需求；直冷型Chiller通過(guò)制冷劑直接蒸發(fā)換熱，效率較傳統(tǒng)液冷提升30%以上。
等離子刻蝕冷卻Chiller憑借其溫控、制冷和可靠的特性，已成為半導(dǎo)體制造鏈條中配套使用的設(shè)備。隨著芯片工藝對(duì)溫控精度的要求越來(lái)越高，等離子刻蝕冷卻Chiller也將持繼續(xù)前進(jìn)。
